一种半导体圆片蚀刻系统
基本信息
| 申请号 | CN201910196984.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109904098B | 公开（公告）日 | 2019-06-18 |
| 申请公布号 | CN109904098B | 申请公布日 | 2019-06-18 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 甄敬格 | 申请（专利权）人 | 江苏奥斯力特电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京棘龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 江苏奥斯力特电子科技有限公司 |
| 地址 | 221100江苏省徐州市高新技术产业开发区第二工业园银山路东、漓江路南安全科技产业园A1号楼一层北区及二层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及蚀刻系统，尤其涉及一种半导体圆片蚀刻系统。本发明要解决的技术问题是提供一种半导体圆片蚀刻效果好、易将半导体圆片固定、操作简单的半导体圆片蚀刻系统。为了解决上述技术问题，本发明提供了这样一种半导体圆片蚀刻系统，包括有支架、液体槽、输送机构、载板、顶板、液压缸、第一安装板、第二安装板、电动吸盘、驱动机构、连接杆、搅拌机构、移动机构、固定板、抽液泵、出液管、喷头、磨筒、圆形滑套和第二电机；地面上放置有液体槽，液体槽内两侧上部均固接有连接杆。本发明达到了能够使半导体圆片蚀刻效果好、易将半导体圆片固定、操作简单和能够防止半导体圆片掉落的效果。 |
