一种显示面板的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201910910965.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110676265B | 公开（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申请公布号 | CN110676265B | 申请公布日 | 2022-02-08 |
| 分类号 | H01L27/12（2006.01）I;H01L21/77（2017.01）I;H01L27/32（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 易志根;潘明超;殷大山 | 申请（专利权）人 | 冠捷电子科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 许静 |
| 地址 | 210033 江苏省南京市栖霞区天佑路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种显示面板的制造方法，第二金属层采用两次曝光、两次刻蚀和两次剥离：第一次曝光除开形成正常的栅极的图形之外，还在半导体层的边缘用第一光阻层进行保护，然后依次进行第二金属层的刻蚀和绝缘层的刻蚀，因半导体层的边缘有第一光阻层的保护，所以绝缘层的刻蚀时不会造成半导体层的边缘处的缓冲层出现UnderCut（底切）的异常；接着进行第一光阻层的剥离和第二次曝光，第二金属层的第二次曝光，将半导体层边缘多余的第二金属层露出来，其他位置均被第二光阻层保护；接着进行第二金属层的刻蚀，将半导体层边缘多余的第二金属层刻蚀干净，进行第二光阻层剥离完成第二金属层的制程。 |
