一种真空腔旋转角度异常的校正装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202010068508.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111235543B | 公开（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申请公布号 | CN111235543B | 申请公布日 | 2022-03-15 |
| 分类号 | C23C14/54（2006.01）I;G01B11/26（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵俊峰 | 申请（专利权）人 | 冠捷电子科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 许静 |
| 地址 | 210033 江苏省南京市栖霞区天佑路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种真空腔旋转角度异常的校正装置，包括设置在真空腔分隔壁的信号接收端、设置在制程腔分隔壁的与信号接收端对应的信号发射端以及旋转盘，旋转盘表面设有指针和刻度，指针与真空腔的旋转轴相连接，旋转盘内部设有位置感应器，位置感应器用于记录真空腔的旋转数据并根据旋转数据判断真空腔的旋转方向；当异常断电时，操作人员根据真空腔的旋转方向将真空腔向旋转盘上刻度为0度或180度的方向旋转，直至信号发射端发出的信号被对应的信号接收端接收时停止操作。本发明简化真空腔旋转角度异常的校正流程，减少此异常的处理时间，保证设备高稼动率。 |
