具有稳定频率功能的体声波谐振器
基本信息
| 申请号 | CN202111043759.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113746446A | 公开（公告）日 | 2021-12-03 |
| 申请公布号 | CN113746446A | 申请公布日 | 2021-12-03 |
| 分类号 | H03H9/02（2006.01）I;H03H9/05（2006.01）I;H03H9/10（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 朱宇波;李卫民;母志强;吴挺俊;朱雷;俞文杰 | 申请（专利权）人 | 上海集成电路材料研究院有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 卢炳琼 |
| 地址 | 201800上海市嘉定区兴贤路1180号1幢3层301室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种具有稳定频率功能的体声波谐振器，通过形成温度补偿层以实现对温度频率系数的优化，且空腔谐振区域只有多层薄膜构成的谐振结构，而引出电极及通孔等结构均远离空腔，可以避免产生杂波。本发明在形成空腔结构时，无需引入牺牲层就可引入带温度补偿层的压电薄膜体声波谐振器结构，采用本发明的体声波谐振器结构无需复杂的背面工艺及精确对准过程，可以得到具有温度补偿特性的高频率、高耦合系数且高Q的谐振器。 |
