真空水冷散热系统及其散热方法
基本信息
| 申请号 | CN201910564969.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112153852A | 公开（公告）日 | 2020-12-29 |
| 申请公布号 | CN112153852A | 申请公布日 | 2020-12-29 |
| 分类号 | H05K7/20(2006.01)I;H01J49/24(2006.01)I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 广州质谱技术有限公司 |
| 代理机构 | 广州文智专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 广州汇弘科技有限公司 |
| 地址 | 510000广东省广州市黄埔区南翔二路72号D栋201-203 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种真空水冷散热系统及其散热方法，包括制冷系统、温控系统及分子涡轮泵，所述制冷系统包括冷却装置、循环液箱、管路装置及泵体，所述冷却装置与循环液箱连接，所述循环液箱及泵体均与管路装置连接，所述泵体设置于循环液箱的内部；所述温控系统包括控制板及传感器，所述控制板与制冷系统电性连接，所述控制板与传感器电性连接，所述传感器与分子涡轮泵电性连接。本发明对分子涡轮泵的散热效果较好，水冷散热环境能够避免积灰及减缓易损件的磨损，设备运行静谧，延长了设备的使用寿命，降低了企业的投入成本。 |
