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一种碳化硅粉料的合成方法

基本信息

申请号 CN202110959910.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113479889A 公开（公告）日 2021-10-08
申请公布号 CN113479889A 申请公布日 2021-10-08
分类号 C01B32/984（2017.01）I 分类 无机化学;
发明人 陈豆;关承浩;周玉洁;潘尧波 申请（专利权）人 中电化合物半导体有限公司
代理机构 上海光华专利事务所（普通合伙） 代理人 苗晓娟
地址 315336浙江省宁波市杭州湾新区兴慈一路290号3号楼105-1室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种碳化硅粉料的合成方法，包括：通过将高纯碳粉和高纯硅粉进行混合，并装入石墨坩埚内，其中石墨坩埚内设有氟化石墨内衬，将所述石墨坩埚放置炉腔内；将所述炉腔升温，并在升温过程中，向所述炉腔内通入氢气与惰性气体的混合气体，且所述氟化石墨内衬分解释放含氟气体；抽出所述炉腔内的气体，使所述高纯碳粉和所述高纯硅粉反应，得到中间相产物；将所述炉腔升温，使所述中间相产物反应生成碳化硅粉料。通过本发明提供的一种碳化硅粉料合成方法，能够得到高纯度的碳化硅粉料。