一种石墨容器及碳化硅单晶生长坩埚
基本信息
| 申请号 | CN202021969440.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213866496U | 公开（公告）日 | 2021-08-03 |
| 申请公布号 | CN213866496U | 申请公布日 | 2021-08-03 |
| 分类号 | C30B23/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陈豆;李坚;马远 | 申请（专利权）人 | 中电化合物半导体有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 夏苗苗 |
| 地址 | 315336浙江省宁波市杭州湾新区兴慈一路290号3号楼105-1室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种石墨容器及碳化硅单晶生长坩埚。所述石墨容器包括：石墨容器本体，所述石墨容器本体内装载有含氯化合物；碳化硅块体，安置于所述石墨容器本体内，并位于所述含氯化合物的上方，以密封所述石墨容器本体；多孔盖体，安置于所述石墨容器本体的上方。根据本实用新型提供的石墨容器可以调节碳化硅单晶生长气氛中碳/硅比，从而解决碳化硅单晶生长初期化学气氛富硅而导致的硅滴形成而造成的结晶缺陷。 |
