一种用于半导体外延生长的托盘及半导体加工设备
基本信息
| 申请号 | CN202120084437.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214327968U | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN214327968U | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | C30B25/12（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 周长健;吴从俊 | 申请（专利权）人 | 中电化合物半导体有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 苗晓娟 |
| 地址 | 315336浙江省宁波市杭州湾新区兴慈一路290号3号楼105-1室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种用于半导体外延生长的托盘，包括托盘本体、凹槽及支撑结构，所述凹槽设置在所述托盘本体上，所述凹槽的侧壁向所述凹槽内部倾斜一定角度，所述支撑结构设置在所述托盘本体上，且所述支撑结构位于所述凹槽的底部。本实用新型可大幅度提高晶圆的固定性，减小晶圆由于惯性从凹槽内滑出的概率，解决产品背面与凹槽接触产生划伤的问题。本实用新型还提供一种包含上述托盘的半导体加工设备，在此设备中生长的外延片质量得到提高。 |
