具有簇状分层结构的碳基纳米新型场致电子发射材料及其制备方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

具有簇状分层结构的碳基纳米新型场致电子发射材料及其制备方法

基本信息

申请号	CN201010191101.3	申请日	-
公开（公告）号	CN101887828B	公开（公告）日	2013-04-24
申请公布号	CN101887828B	申请公布日	2013-04-24
分类号	H01J1/304(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I;B82B1/00(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	李葵阳	申请（专利权）人	重庆启越涌阳微电子科技发展有限公司
代理机构	北京同恒源知识产权代理有限公司	代理人	谢殿武
地址	401331 重庆市沙坪坝区西永微电子产业园区研发楼BI-7
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种具有簇状分层结构的碳基纳米新型场致电子发射材料，该纳米材料是通过在衬底上沉积出簇状结构的纳米薄膜，再在纳米薄膜的边缘尖端上生长出密集的纳米微管而形成，纳米微管生长于簇状结构的尖端之上，其中，簇状结构的高度介于0.5um～5um之间，簇状结构的长边与衬底表面法线的夹角小于或等于20°，纳米微管的高度介于1nm～1000nm之间，该新型场致电子发射碳基纳米材料通过重新组合及优化其结构特性，能够克服现有技术制造的单壁和多壁碳纳米管所存在的石墨化程度普遍较差，结构密度低，存在较多结晶缺陷的问题；满足发射效率和电流分布的要求，并能有效拓宽其在多个领域的应用；另外，本发明还提供了该材料的制备方法。