高真空磁控管

基本信息

申请号 CN03260240.5 申请日 -
公开(公告)号 CN2629211Y 公开(公告)日 2004-07-28
申请公布号 CN2629211Y 申请公布日 2004-07-28
分类号 H01J25/50 分类 基本电气元件;
发明人 沃尔科夫A.A;金霄;李北光;张晓东;刘国辉 申请(专利权)人 黑龙江省哈工大中俄科学技术合作有限公司
代理机构 哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司 代理人 祖玉清
地址 150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街副90号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供的是一种高真空磁控管。它包括阴极、阳极、磁力装置、导磁体,阴极呈圆柱形,平面磁力装置设置于阴极下面,导磁体位于磁力装置的下面,阳极呈圆筒状置于阴极外且其底部带有工作气体入口,阴极的侧面与阳极内壁之间有供工作气体通过的间隙。本实用新型与众所周知的技术处理方法相比,该发明可以在工作室内气体压力为0.05-10毫托的范围工作,无需使用辅助磁体和无需将真空室装置复杂化。