高真空磁控管
基本信息
申请号 | CN03260240.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN2629211Y | 公开(公告)日 | 2004-07-28 |
申请公布号 | CN2629211Y | 申请公布日 | 2004-07-28 |
分类号 | H01J25/50 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 沃尔科夫A.A;金霄;李北光;张晓东;刘国辉 | 申请(专利权)人 | 黑龙江省哈工大中俄科学技术合作有限公司 |
代理机构 | 哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司 | 代理人 | 祖玉清 |
地址 | 150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街副90号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供的是一种高真空磁控管。它包括阴极、阳极、磁力装置、导磁体,阴极呈圆柱形,平面磁力装置设置于阴极下面,导磁体位于磁力装置的下面,阳极呈圆筒状置于阴极外且其底部带有工作气体入口,阴极的侧面与阳极内壁之间有供工作气体通过的间隙。本实用新型与众所周知的技术处理方法相比,该发明可以在工作室内气体压力为0.05-10毫托的范围工作,无需使用辅助磁体和无需将真空室装置复杂化。 |
