一种用于硅片清洗的清洗烘干一体的全自动清洗线
基本信息
| 申请号 | CN202210135211.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114551300A | 公开（公告）日 | 2022-05-27 |
| 申请公布号 | CN114551300A | 申请公布日 | 2022-05-27 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 汪沛渊;吴超慧;王培业 | 申请（专利权）人 | 云南宇泽半导体有限公司 |
| 代理机构 | 昆明合众智信知识产权事务所 | 代理人 | - |
| 地址 | 675000云南省楚雄彝族自治州楚雄市鹿城镇阳光大道楚风苑南门东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于硅片清洗的清洗烘干一体的全自动清洗线，包括硅片清洗烘干一体机主体，硅片清洗烘干一体机主体内安装有安装座，安装座上安装有若干清洗结构，清洗结构包括座板和一对旋转机构，安装座上设置有进水管和进气管，旋转机构包括清洗头、盖板以及轴杆，硅片从一对旋转机构之间经过。本发明中通过设置的清洗结构，使得在将清洗用的液体与气体通入到清洗结构内后即可使清洗液体和气体能够一同通过清洗头喷向硅片的正反两面，使得清洗硅片表面的清洗液能够在清洗后被气体吹走，从而增加了硅片的清洗效果，防止杂质粘附在硅片表面的清洗液内。 |
