化料装置及其使用方法
基本信息
申请号 | CN202111214784.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114150368A | 公开(公告)日 | 2022-03-08 |
申请公布号 | CN114150368A | 申请公布日 | 2022-03-08 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 王培业 | 申请(专利权)人 | 云南宇泽半导体有限公司 |
代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王美章 |
地址 | 675099云南省楚雄彝族自治州楚雄市鹿城镇阳光大道楚风苑南门东侧 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种化料装置及其使用方法,化料装置包括坩埚及设于所述坩埚上方的水冷屏,所述化料装置还包括隔热机构,所述隔热机构包括隔热板,所述隔热板设于所述坩埚与所述水冷屏之间,所述隔热板用于阻挡所述坩埚与所述水冷屏间的热对流。 |
