化料装置及其使用方法

基本信息

申请号 CN202111214784.4 申请日 -
公开(公告)号 CN114150368A 公开(公告)日 2022-03-08
申请公布号 CN114150368A 申请公布日 2022-03-08
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B15/14(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 王培业 申请(专利权)人 云南宇泽半导体有限公司
代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 代理人 王美章
地址 675099云南省楚雄彝族自治州楚雄市鹿城镇阳光大道楚风苑南门东侧
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种化料装置及其使用方法,化料装置包括坩埚及设于所述坩埚上方的水冷屏,所述化料装置还包括隔热机构,所述隔热机构包括隔热板,所述隔热板设于所述坩埚与所述水冷屏之间,所述隔热板用于阻挡所述坩埚与所述水冷屏间的热对流。