一种单晶炉用热场
基本信息
| 申请号 | CN202122514136.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216738634U | 公开（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申请公布号 | CN216738634U | 申请公布日 | 2022-06-14 |
| 分类号 | C30B15/14（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 王培业;吴超慧 | 申请（专利权）人 | 云南宇泽半导体有限公司 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 675099云南省楚雄彝族自治州楚雄市鹿城镇阳光大道楚风苑南门东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶炉用热场，属于单晶生产设备技术领域。它包括上盖；保温筒，其连接于上盖下方，保温筒自上而下依次包括上保温筒、中保温筒和下保温筒，中保温筒和下保温筒外径相同；炉底，其连接于保温筒下方；保温筒内设有埚帮；中保温筒与埚帮间设有加热器圈；还包括中保支撑环，其设于中保温筒与下保温筒之间，中保支撑环的外侧壁直径与中保温筒外径相同，中保支撑环的内侧壁直径与加热器圈内径相同。本实用新型中保支撑环的结构设置能在单晶发生打火导致加热器脚断裂时，对掉落的加热器圈提供有效支撑，避免其掉落损坏及砸坏单晶其他热场，减少热场在事故中的损耗，增加热场的使用寿命，具有结构简单、设计合理、易于制造的优点。 |
