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固晶设备

基本信息

申请号 2020104362153 申请日 -
公开（公告）号 CN111584698B 公开（公告）日 2020-08-25
申请公布号 CN111584698B 申请公布日 2020-08-25
分类号 H01L33/48(2010.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 胡新荣 申请（专利权）人 中山市新益昌自动化设备有限公司
代理机构 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人 陈延侨
地址 528400广东省中山市火炬开发区火炬路17号之二1楼101
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及自动化设备技术领域，具体的说是涉及一种固晶设备，包括：传送装置，用于驱动基板从前往后移动，且依次经过进板工位、固晶工位、出板工位；供料装置，用于供应晶片；至少两个固晶装置，各固晶装置沿前后方向相对设置，且均设置于固晶工位，其中，固晶装置包括至少两个固晶单元，各固晶单元从供料装置获取晶片，并分别固定在基板不同区域固晶，固晶单元包括邦头机构、与邦头机构连接的位移驱动机构，邦头机构能够在供料装置处抓取多个晶片并在固晶工位处固定晶片，位移驱动机构用于驱动邦头机构在供料装置和固晶工位之间往复移动。本发明减少了固定单元的活动范围，如此，可减少固晶单元的位移偏差，从而提高固晶精度。