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邦头机构以及固晶设备

基本信息

申请号 CN202010436210.0 申请日 -
公开（公告）号 CN111564394A 公开（公告）日 2020-08-21
申请公布号 CN111564394A 申请公布日 2020-08-21
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 胡新荣 申请（专利权）人 中山市新益昌自动化设备有限公司
代理机构 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人 中山市新益昌自动化设备有限公司
地址 528400广东省中山市火炬开发区火炬路17号之二1楼101
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于固晶技术领域，尤其涉及一种邦头机构以及固晶设备，其中，邦头机构包括邦头安装板以及至少两个均安装于邦头安装板的固晶邦头，其中，固晶邦头包括固晶吸嘴、联动块、固晶驱动器以及电机安装座，电机安装座连接于邦头安装板，固晶吸嘴用于接收负压气体连接并利用负压气体吸持晶片，联动块与固晶吸嘴连接，固晶驱动器连接于电机安装座，并用于驱动联动块上下运动，且在驱动联动块向下运动过程中将固晶吸嘴上吸持的晶片固定到基板上。各固晶邦头均包括固晶吸嘴、联动块以及固晶驱动器，各固晶邦头都是独立作业，互不干扰，各固晶邦头可根据各自对应位置的固晶作业需求进行适应性调整，进行差异化固晶作业，从而提高邦头机构的固晶质量。