计算基于扫描电镜的双探测器三维成像深度的方法及系统
基本信息
| 申请号 | CN202210277934.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114693871A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114693871A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | G06T17/00（2006.01）I;G06T7/55（2017.01）I;G06T5/00（2006.01）I;G06T7/33（2017.01）I;G06T7/00（2017.01）I;G06T7/80（2017.01）I;G06T3/40（2006.01）I;G06N3/04（2006.01）I;G06N3/08（2006.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 杨湛;房梁;卞卫国;瞿志;张略;陈涛;孙立宁 | 申请（专利权）人 | 苏州大学 |
| 代理机构 | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江苏省苏州市吴中区石湖西路188号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种计算基于扫描电镜的双探测器三维成像深度的方法，包括标定具有第一探测器和第二探测器的扫描电镜的参数；使用扫描电镜拍摄样品图像，对得到的第一原始图像和第二原始图像进行去噪，对第一原始图像和第二原始图像进行训练学习，输出第一图像和第二图像；分别提取第一图像和第二图像的特征点并对其进行匹配；将第一图像和第二图像上的对应点约束到同一水平线上，得到第一校准图像和第二校准图像；计算第一校准图像和第二校准图像的视差；根据视差结果和两个探测器的夹角建立视差‑深度的映射关系并计算得到深度信息。本发明结合SEM内部的双探测器拍摄图像，计算出图像的深度，降低操作的难度，节省时间，且能够提高装配精度和效率。 |
