一种光学相位延迟精密测量方法及其系统
基本信息
| 申请号 | CN200710178950.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101183043A | 公开（公告）日 | 2008-05-21 |
| 申请公布号 | CN101183043A | 申请公布日 | 2008-05-21 |
| 分类号 | G01M11/02(2006.01) | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 宋菲君;范玲;俞蕾;韩永刚;林海晏;宋建力;姚思一 | 申请（专利权）人 | 大恒新纪元科技股份有限公司北京光电技术研究所 |
| 代理机构 | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人 | 余长江 |
| 地址 | 100085北京市海淀区上地信息路甲9号3号楼2层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光学相位延迟精密测量方法及其系统，本发明的系统包括激光器、起偏器、光调制器、调制信号源、待测相位延迟器、相位补偿器、检偏器、光探测器、结果输出单元，本发明的方法通过在光路中加入光调制器对检测偏振光进行光调制，产生调制偏振光，结果显示单元对接收信号滤波处理后实现将直流零点的测量转换交流零点的测量，从而准确判断极值点位置，提高了测量精度。本发明测量简单方便，结果准确可靠，精度可达到λ/300，适用于波片等光学延迟器件的生产和销售部门对产品的检验。 |
