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蓝宝石抛光液的制备方法

基本信息

申请号 CN201410158996.9 申请日 -
公开（公告）号 CN103881586B 公开（公告）日 2015-09-30
申请公布号 CN103881586B 申请公布日 2015-09-30
分类号 H01L21/304(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 王宇湖;张秀丽;刘亚;何晓敏;沈从九 申请（专利权）人 苏州柔陶新材料有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 范晴;夏振
地址 215000 江苏省苏州市城区阳澄湖镇凤阳路432号8号楼东侧一、二层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种蓝宝石抛光液的制备方法，其特征在于所述方法包括以下步骤：（1）以平均粒径在100～300nm范围内的α-Al2O3纳米晶体作为晶种均匀分散在铝盐水溶液中作为前驱体溶液；（2）将前驱体液体通过喷雾干燥工艺制成含有α-Al2O3纳米晶体晶种的球形粉体作为前驱体；（3）将前驱体在温度范围控制在900～1200℃的条件下进行烧结，获得α-Al2O3粉体；（4）将α-Al2O3粉体分散到水中，并调整pH值和二次颗粒的大小，即得到蓝宝石抛光液。该方法所得蓝宝石抛光液平均粒度小、粒度分布窄，水分散性良好，工艺参数范围宽且可调，大大提高了蓝宝石抛光的效率及精度。