一种SiCl4输送系统
基本信息
| 申请号 | CN202120281764.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215516634U | 公开（公告）日 | 2022-01-14 |
| 申请公布号 | CN215516634U | 申请公布日 | 2022-01-14 |
| 分类号 | B67D7/02（2010.01）I;B67D7/72（2010.01）I;B67D7/58（2010.01）I | 分类 | 开启或封闭瓶子、罐或类似的容器；液体的贮运; |
| 发明人 | 连海洲;吴海华 | 申请（专利权）人 | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海智力专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 杜冰云;周涛 |
| 地址 | 200241上海市闵行区紫海路170号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种SiCl4输送系统，包括源料罐车、氮压式卸料子系统、泵送式输送子系统和氮压式供给子系统，所述源料罐车用于存储液态的SiCl4源料；氮压式卸料子系统用于利用氮气将SiCl4源料从源料罐车中压出并输送至泵送式输送子系统中；泵送式输送子系统用于将SiCl4源料以设定压力输送至氮压式供给子系统；氮压式供给子系统用于将SiCl4源料分流供给给各个工艺机台。本实用新型综合了氮压式和泵送式的优点，安全性更高，输送压力稳定，提高了原料供应系统的安全性和流量稳定性。 |
