去除晶体表面氧化物的装置
基本信息
| 申请号 | CN202120418414.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215394461U | 公开（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申请公布号 | CN215394461U | 申请公布日 | 2022-01-04 |
| 分类号 | B24B27/033（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;G01N1/28（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 孟杰;赵静敏;袁泽海;赵邦超;周晓霞;董娓 | 申请（专利权）人 | 有研光电新材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 佟林松 |
| 地址 | 065201 河北省廊坊市三河市燕郊兴都村南有研科技集团有限公司二部 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种去除晶体表面氧化物的装置，该装置包括装置本体、固定件、打磨器组件和控制组件；所述固定件和所述打磨器组件均设置在所述装置本体上，并且通过所述固定件固定待加工样品；所述控制组件连接并驱动所述打磨器组件工作，并且所述控制组件用于调整所述打磨器组件相对于所述待加工样品的打磨位置。该装置通过控制组件驱动打磨器组件对待加工样品进行打磨，无需手工进行打磨，提高效率；并且还可以通过控制组件调整打磨器组件相对于待加工样品的打磨位置及打磨程度，确保打磨的全方位性及一致性。 |
