石英坩埚腐蚀桶及腐蚀结构
基本信息
| 申请号 | CN202120384787.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215480535U | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN215480535U | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | C03B20/00（2006.01）I | 分类 | 玻璃；矿棉或渣棉; |
| 发明人 | 柴晨;闵振东;王博;魏炜;林泉;马英俊;许兴;李万朋;张路;刘向前 | 申请（专利权）人 | 有研光电新材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王志红 |
| 地址 | 065201 河北省廊坊市三河市燕郊兴都村南有研科技集团有限公司二部 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种石英坩埚腐蚀桶及腐蚀结构，包括：桶体，顶部具有开口，用于盛放腐蚀液；桶盖，盖设在开口上；支撑凸起，设置在桶体的底面，用于支撑石英坩埚。通过在桶体内设置支撑凸起，一方面可以支撑悬空倒扣的石英坩埚，使得石英坩埚充分腐蚀，另一方面支撑凸起可以占用桶体的部分空间，达到节省腐蚀液、降低成本的目的。 |
