磷化镓位错腐蚀用容器组件及磷化镓位错水浴腐蚀装置

基本信息

申请号 CN202120398779.2 申请日 -
公开(公告)号 CN214736218U 公开(公告)日 2021-11-16
申请公布号 CN214736218U 申请公布日 2021-11-16
分类号 C30B33/10(2006.01)I;C30B29/44(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 赵敬平;赵素晓;杜长岭;杨海涛;郭伟才;胡海琪;孟杰 申请(专利权)人 有研光电新材料有限责任公司
代理机构 北京辰权知识产权代理有限公司 代理人 佟林松
地址 065001河北省廊坊市廊坊开发区百合道4号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种磷化镓位错腐蚀用容器组件及磷化镓位错水浴腐蚀装置,该磷化镓位错腐蚀用容器组件包括半球形底座、容器和固定套件;所述半球形底座为实心,并且具有弧形面和与所述弧形面相对的平面;所述固定套件设置于所述半球形底座的平面上,并且将所述容器固定于所述半球形底座的所述平面一侧。该磷化镓位错腐蚀用容器组件通过设计实心不倒翁形底座避免了容器在传统操作中的上浮,也无需人工按压操作,避免对操作人员的身体健康造成危害。