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微型动态渗透水压力传感器

基本信息

申请号	CN201310653653.5	申请日	-
公开（公告）号	CN103674396A	公开（公告）日	2014-03-26
申请公布号	CN103674396A	申请公布日	2014-03-26
分类号	G01L9/00(2006.01)I;G01L19/06(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	唐运海;沈娇艳;程新利;王冰;秦长发;潘涛;臧涛成;王文襄	申请（专利权）人	昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司
代理机构	苏州创元专利商标事务所有限公司	代理人	苏州科技学院;昆山双桥传感器测控技术有限公司
地址	215009 江苏省苏州市高新区科锐路1号
法律状态	-

摘要

本发明公开一种微型动态渗透水压力传感器，包括壳体、杯形基底、不锈钢后盖、透水石层和信号调制放大模块；杯形基底内壁具有台阶面，一透水石层安装于所述杯形基底的台阶面上；杯形基底嵌入所述前置腔内并安装于所述壳体的台阶圆环面上；不锈钢后盖安装于所述壳体位于后置腔的一端，氮化硅薄膜覆盖于所述杯形基底的内表面；杯形基底与透水石层相背的表面具有压力敏感组件，第一引线跨接于所述压力敏感组件和信号调制放大模块一端之间，一信号缆嵌入不锈钢后盖的通孔内并通过第二引线连接到所述信号调制放大模块另一端。本发明提高压力传感器的动态频响和测量精度，既大大提升了量程，又提高了感应的精度和灵敏性，且提高了压力传感器的信号线性度。