压阻式高频动态土应力传感器及制备方法

基本信息

申请号 CN201310046809.3 申请日 -
公开(公告)号 CN103175639A 公开(公告)日 2013-06-26
申请公布号 CN103175639A 申请公布日 2013-06-26
分类号 G01L1/18(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 沈娇艳;唐运海;程新利;王冰;秦长发;潘涛;王文襄 申请(专利权)人 昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 苏州科技学院;昆山双桥传感器测控技术有限公司;昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司
地址 215009 江苏省苏州市科锐路1号苏州科技学院数理学院
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种压阻式高频动态土应力传感器及制备方法,传感器包括传感器壳体(7)、应力敏感组件、信号调理放大电路(11)和引出电缆(13),所述应力敏感组件包括基底(1)—绝缘隔离层(2)—应变电阻(3)—绝缘保护层(5)构成的结构;且所述应力敏感组件通过高硼硅玻璃(6)封接于传感器壳体(7)前端的固支台阶(18)。本发明的传感器敏感组件集成有应变电阻(3)和调整电阻(19),有效减小体积,简化了加工工艺,降低制作成本,容易实现大批量生产,提高了产品性价比和市场竞争力。