压阻式高频动态土应力传感器及制备方法
基本信息
申请号 | CN201310046809.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN103175639A | 公开(公告)日 | 2013-06-26 |
申请公布号 | CN103175639A | 申请公布日 | 2013-06-26 |
分类号 | G01L1/18(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 沈娇艳;唐运海;程新利;王冰;秦长发;潘涛;王文襄 | 申请(专利权)人 | 昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司 |
代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 苏州科技学院;昆山双桥传感器测控技术有限公司;昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司 |
地址 | 215009 江苏省苏州市科锐路1号苏州科技学院数理学院 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种压阻式高频动态土应力传感器及制备方法,传感器包括传感器壳体(7)、应力敏感组件、信号调理放大电路(11)和引出电缆(13),所述应力敏感组件包括基底(1)—绝缘隔离层(2)—应变电阻(3)—绝缘保护层(5)构成的结构;且所述应力敏感组件通过高硼硅玻璃(6)封接于传感器壳体(7)前端的固支台阶(18)。本发明的传感器敏感组件集成有应变电阻(3)和调整电阻(19),有效减小体积,简化了加工工艺,降低制作成本,容易实现大批量生产,提高了产品性价比和市场竞争力。 |
