等离子体发生器及其阴极模块

基本信息

申请号 CN201921399176.3 申请日 -
公开(公告)号 CN210609829U 公开(公告)日 2020-05-22
申请公布号 CN210609829U 申请公布日 2020-05-22
分类号 H05H1/24 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 张子炜;杨明辉;陈明周;陆杰;刘夏杰;陈祎;司徒达志;杨武;魏欢饴;吕永红;华伟;刘沪滨;周祯;林闪辉 申请(专利权)人 中广核环境科技(深圳)有限责任公司
代理机构 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 代理人 中国广核电力股份有限公司;中国广核集团有限公司;中广核研究院有限公司;中广核环境科技(深圳)有限责任公司
地址 518031 广东省深圳市福田区上步中路西深圳科技大厦15层(1502-1504、1506)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种等离子体发生器及其阴极模块,阴极模块包括阴极本体、设置在阴极本体的中心通道内的导气件、以及设置在阴极本体内且位于导气件外围的冷却通路;阴极本体的第一端封闭,相对的第二端开放与导气件相连通;阴极本体的侧面上设有连通导气件的进气接口、分别连通冷却通路的冷却剂进口和冷却剂出口;工作气体从进气接口进入导气件,通过阴极本体的第二端输出;冷却剂从冷却剂进口进入冷却通路,沿着冷却通路流通后从冷却剂出口排出。本实用新型的阴极模块,将冷却通路、工作气路等集成在为一体,结构简单,可靠性高;阴极模块可与阳极组装形成大功率的等离子体发生器,拆装便捷且耗时少,方便维护。