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一种高选择性高灵敏度的半导体丙酮传感器的制备方法

基本信息

申请号 CN201910417147.3 申请日 -
公开（公告）号 CN110161086A 公开（公告）日 2019-08-23
申请公布号 CN110161086A 申请公布日 2019-08-23
分类号 G01N27/12 分类 测量；测试;
发明人 章伟;成穗实;胡雪峰 申请（专利权）人 安徽六维传感科技有限公司
代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 代理人 朱小兵
地址 210009 江苏省南京市鼓楼区新模范马路5号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种高选择性高灵敏度的半导体丙酮传感器的制备方法。该制备方法包括以下步骤：按质量比为1:99称量SnO2和IN2O3，然后加入乙醇混合球磨得混合物A；将步骤1中混合物A烘干后，加入粘合剂，造粒得母粒；将母粒使用压片机按压成型，然后放入管式炉烧结得靶材；清洗平面电极，与靶材一起装入磁控溅射设备腔体内，然后开始沉积薄膜；沉积结束后，将样品取出封装成传感器的半成品，然后将半成品在空气中240℃下老化7天，即得半导体丙酮传感器。本发明通过磁控溅射制备的掺杂S nO2的IN2O3薄膜气敏材料，可以在较低温度下检测ppb级别的丙酮，检测限在20ppb，并且具有较高的选择性。