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一种晶圆平面度手动测试仪

基本信息

申请号 CN202120334565.9 申请日 -
公开（公告）号 CN214666668U 公开（公告）日 2021-11-09
申请公布号 CN214666668U 申请公布日 2021-11-09
分类号 G01B11/30（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 贾怀宇 申请（专利权）人 北京三禾泰达技术有限公司
代理机构 武汉仁合利泰专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 刘川
地址 100000北京市顺义区中关村科技园区顺义园临空二路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆平面度手动测试仪，包括工控机、激光干涉仪、电器启动模块和参数设置模块，激光干涉仪一侧表面分别设置有负压开关和输气管，所述激光干涉仪靠近所述负压开关的一侧表面固定连接有手动上下料装置，所述手动上下料装置内部通过转动杆转动连接有手动上下料门，所述手动上下料门内侧表面设置有移动板，所述移动板一侧表面设置有负压卡盘，本实用新型通过在手动上下料门内部一侧表面设置有负压卡盘，当需要对晶圆的平面度进行测试时，打开手动上下料门，随后将晶圆准确放置在负压卡盘的中心位置，按一下负压开关，此时晶圆将被牢牢地吸附在负压卡盘的平面上，从而实现对晶圆的固定。