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一种晶圆共聚焦平面度测试仪

基本信息

申请号 CN202120333696.5 申请日 -
公开（公告）号 CN214066000U 公开（公告）日 2021-08-27
申请公布号 CN214066000U 申请公布日 2021-08-27
分类号 G01B11/30（2006.01）I;B08B1/00（2006.01）I;F16F15/067（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 贾怀宇 申请（专利权）人 北京三禾泰达技术有限公司
代理机构 武汉仁合利泰专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 刘川
地址 100000北京市顺义区中关村科技园区顺义园临空二路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆共聚焦平面度测试仪，包括工作平台、龙门架、测试镜头、丝杆一、防护外壳和清洁板，所述工作平台两侧均设置有支撑腿，所述支撑腿上端固定连接有龙门架，所述支撑腿内部为大理石材质，本实用新型通过设置的丝杆二，能够通过驱动电机带动丝杆二转动，丝杆二两端螺纹为相反方向，通过丝杆二转动，能够使丝杆二两端的调节环始终保持相对方向移动，通过调节环位置移动，能够使调节环上端升降杆位置移动，实现调整升降杆另一端伸缩板的位置，通过伸缩板位置移动，能够使伸缩板一侧支撑架内的清洁板在工作平台上表面移动，并通过清洁板下表面的海绵块与工作平台摩擦，能够除去工作平台表面的灰尘和杂质。