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适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统

基本信息

申请号 CN201320007616.2 申请日 -
公开（公告）号 CN203002315U 公开（公告）日 2013-06-19
申请公布号 CN203002315U 申请公布日 2013-06-19
分类号 B01F15/04(2006.01)I;B01F3/02(2006.01)I 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 李虹杰;李恺骅 申请（专利权）人 山西宇虹科贸有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 430223 湖北省武汉市东湖高新华师园北路11号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统。包括与第一质量流量计输出口连接的超低浓度配气管和与第二质量流量计输出口连接高浓度配气管，所述超低浓度配气管和高浓度配气管同时接一气体混合组件后接气体配比输出管，所述第一质量流量计输入口连接零气输入管，所述零气输入管接零气发生器，所述第二质量流量计输入口连接标气输入管，所述标气输入管接钢瓶气。因此，本实用新型具有如下优点：1.能够配比出超低浓度小于50ppb的流量气；2.?混合管采用螺旋状的配比管进行配比混合，舍弃了传统的单一容器混合器进行混合，能够是配比气体更均匀。