一种集成电路行业含氟废液资源化利用的方法
基本信息
| 申请号 | CN202110910738.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113353940A | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN113353940A | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | C01B33/10（2006.01）I;C01D3/02（2006.01）I;C01D9/12（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 陈福泰;褚永前;杨艳;刘兴甜 | 申请（专利权）人 | 清大国华环境集团股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京维正专利代理有限公司 | 代理人 | 李爱民 |
| 地址 | 100089北京市海淀区上地三街9号C幢C404 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及工业废水处理和资源回收利用技术领域，具体公开了一种集成电路行业含氟废液资源化利用的方法，包括：测定含氟废液中SiF6、F4和SO的浓度；向含氟废液中加入氢氧化钠的水溶液进行一次中和反应，得一次处理废液和氟硅酸钠；向一次处理废液中加入氢氧化钠进行二次中和反应，得二次处理废液和氟化钠；二次处理废液经过蒸发浓缩析出含有氟化钠的沉淀物，得含有氟化钠的沉淀物和三次处理废液；向三次处理废液中加入硝酸钙，得固体废料和四次处理废液；四次处理废液经过结晶得五次处理废液和硝酸钠。本申请将含氟废液的有效成分转化为可回收利用资源，解决含氟废液对环境的污染问题，且处理成本低，资源化产品价值高。 |
