一种用于检测芯片的外观检测装置及外观检测设备
基本信息
| 申请号 | CN202120588266.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215003700U | 公开（公告）日 | 2021-12-03 |
| 申请公布号 | CN215003700U | 申请公布日 | 2021-12-03 |
| 分类号 | G01D21/02（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 姚发贵;栾俊平;欧远鹏;蒋建华;李土轩;余国弟;黎勇 | 申请（专利权）人 | 东莞市小可智能设备科技有限公司 |
| 代理机构 | 东莞市永邦知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曾婉忆 |
| 地址 | 523000广东省东莞市长安镇咸西工业区莲湖路13号A栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种用于检测芯片的外观检测装置及外观检测设备；一种用于检测芯片的外观检测装置,包括：多轴移动机构；视觉定位机构，与所述多轴移动机构传动而能多轴运动，用于检测芯片的水平位置；高度测量机构，与所述多轴移动机构传动而能多轴运动，用于检测芯片的高度位置；红外光源，与所述多轴移动机构传动而能多轴运动，用于向芯片表面发射红外光；红外传感器，与所述多轴移动机构传动而能多轴运动，用于接收芯片表面反射的红外光。本实用新型具有结构简单，检测效率高的优点。 |
