一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置
基本信息
| 申请号 | CN201620094752.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205368492U | 公开（公告）日 | 2016-07-06 |
| 申请公布号 | CN205368492U | 申请公布日 | 2016-07-06 |
| 分类号 | C23C16/26(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 渠洪波 | 申请（专利权）人 | 沈阳科友真空技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 110000 辽宁省沈阳市苏家屯区沙河铺镇鲍家村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种等离子体辅助感应加热法制备石墨烯的装置，涉及一种石墨烯的制备装置技术领域。该实用新型包括机架、微波源、耦合腔、真空室、感应线圈和工件架，微波源位于机架的上方，耦合腔设置在微波源的左侧，耦合腔的底端设置有真空室，真空室设置在机架上，真空室内设置有工件架，工件架的周围缠绕有感应线圈。本实用新型在化学气相沉积过程中，通过感应线圈加热工件，并使用微波产生等离子体，通过热能与离子轰击能量的共同作用，使反应气体产生化学反应，制备石墨烯材料。 |
