一种化学气相沉积金刚石的装置
基本信息
| 申请号 | CN200910075864.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101709457B | 公开（公告）日 | 2013-08-28 |
| 申请公布号 | CN101709457B | 申请公布日 | 2013-08-28 |
| 分类号 | C23C16/27(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 郭辉;姜龙;张永贵;何奇宇;王志娜 | 申请（专利权）人 | 河北平钻人造金刚石有限公司 |
| 代理机构 | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 张贰群 |
| 地址 | 050081 河北省石家庄市桥西区友谊南大街46号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种化学气相沉积金刚石的装置，涉及功能材料制备技术领域。本装置包括直流电弧喷射等离子炬，真空室，衬底，在真空室和等离子炬间设有气体回用机构。与已有技术对比，本发明很好地解决了现有技术利用直流电弧喷射法化学气相沉积金刚石过程中长期存在的气体消耗量大的问题,其结构简单，工艺合理，不仅能保证产品的质量，而且可大大节省工质气体用量，大大降低成本，减少排放，有利于环保，具有良好的经济效益和社会效益。 |
