一种晶体载盘
基本信息
申请号 | CN202022194337.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN212909451U | 公开(公告)日 | 2021-04-06 |
申请公布号 | CN212909451U | 申请公布日 | 2021-04-06 |
分类号 | H03H3/02(2006.01)I | 分类 | 基本电子电路; |
发明人 | 高静;江勇 | 申请(专利权)人 | 杭州爱晶伦科技有限公司 |
代理机构 | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 李珍珍 |
地址 | 310000浙江省杭州市余杭区五常街道文一西路998号4幢204室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请涉及晶体加工领域,特别是涉及一种晶体载盘,其用以解决相关技术中无法只对载盘损坏部分进行替换,成本较高的问题;包括载盘本体和与载盘本体相匹配的固定件,载盘本体上设有至少一个固定口和固定槽,固定槽位于固定口两侧并与固定口相通,固定口和固定槽上活动设有放置单元。 |
