一种晶体载盘

基本信息

申请号 CN202022194337.4 申请日 -
公开(公告)号 CN212909451U 公开(公告)日 2021-04-06
申请公布号 CN212909451U 申请公布日 2021-04-06
分类号 H03H3/02(2006.01)I 分类 基本电子电路;
发明人 高静;江勇 申请(专利权)人 杭州爱晶伦科技有限公司
代理机构 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 代理人 李珍珍
地址 310000浙江省杭州市余杭区五常街道文一西路998号4幢204室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及晶体加工领域,特别是涉及一种晶体载盘,其用以解决相关技术中无法只对载盘损坏部分进行替换,成本较高的问题;包括载盘本体和与载盘本体相匹配的固定件,载盘本体上设有至少一个固定口和固定槽,固定槽位于固定口两侧并与固定口相通,固定口和固定槽上活动设有放置单元。