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一种新型静电吸附卡盘

基本信息

申请号 CN202120272601.3 申请日 -
公开（公告）号 CN214378380U 公开（公告）日 2021-10-08
申请公布号 CN214378380U 申请公布日 2021-10-08
分类号 H01L21/683（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 王蜀豫 申请（专利权）人 杭州晶通科技有限公司
代理机构 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） 代理人 张超
地址 311121浙江省杭州市余杭区文一西路1217号IT公园1号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种新型静电吸附卡盘，包括由两个铝制半圆盘面共同配合构成的圆形卡盘，铝制盘面上有陶瓷层，两个半圆盘面的圆心位置分别设有C型凸台，C型凸台上设有延伸到电源处的C型槽，C型凸台的上表面和槽壁均设有钛和氮化钛涂层，使得C型凸台上表面的静电电压能够直连到电源作为中性地，两个半圆盘面在陶瓷层形成自圆心设有向外扩散的若干径向不同的导流环槽，陶瓷层上，自最内层的导流环槽上设有朝向半圆盘面外围的若干导流线槽，导流环槽和导流线槽共同包围形成的若干陶瓷面上设有若干钛制小面积接触点，在半圆盘面的周向靠近最外围的盘面上设有若干出气孔，半圆盘面靠近C型凸台的盘面上设有若干进气孔。