光致抗蚀剂剥离剂组合物
基本信息
| 申请号 | CN200880016012.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101681129B | 公开（公告）日 | 2012-05-30 |
| 申请公布号 | CN101681129B | 申请公布日 | 2012-05-30 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 山边崇史;西嶋佳孝;安江秀国 | 申请（专利权）人 | 绵阳澄泓微电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁香兰 |
| 地址 | 日本大阪府 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供FPD制造用光致抗蚀剂剥离剂组合物，其能够在FPD制造工序中剥离光致抗蚀剂，而不会腐蚀Al或Al合金导线，而且也不会腐蚀Cu或Cu合金导线。本发明的光致抗蚀剂剥离剂组合物含有：选自由麦芽酚、2，6-二甲基-γ-吡喃酮、4-羟基-6-甲基-2-吡喃酮、4-羟基香豆素、2，4-二羟基喹啉、2-氨基-4，6-二羟基嘧啶、2，4-二氨基-6-羟基嘧啶、2-氨基-4-羟基-6-甲基嘧啶、4，6-二甲基-2-羟基嘧啶、尿嘧啶和6-甲基尿嘧啶组成的组中的至少一种杂环式化合物0.05～10重量％；烷醇伯胺或仲胺或者烷基伯胺或仲胺5～45重量％；极性有机溶剂30～94.85重量％；糖醇0.1～10重量％。 |
