一种具有滤波作用的压电声学换能器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110582544.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113316072A | 公开（公告）日 | 2021-08-27 |
| 申请公布号 | CN113316072A | 申请公布日 | 2021-08-27 |
| 分类号 | H04R17/02;H04R31/00 | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 孙成亮;杨超翔;胡博豪;林炳辉;王雅馨 | 申请（专利权）人 | 宁波华彰企业管理合伙企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 武汉科皓知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 胡琦旖 |
| 地址 | 315832 浙江省宁波市北仑区梅山七星路88号1幢401室A区E2025 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于MEMS压电器件和半导体制造技术领域，公开了一种具有滤波作用的压电声学换能器及其制作方法。包括外壳、基板和MEMS芯片；外壳和基板围合形成容置腔，基板上开设有声孔，声孔与容置腔连通；MEMS芯片包括衬底、振膜和滤波层；衬底的一端与基板连接，振膜连接于衬底背离基板的另一端，振膜与基板之间形成背腔，滤波层将背腔分隔为顶部背腔和底部背腔，滤波层开设有若干个通孔，并对应多个不同大小的截面积。本发明能够有效地对杂波信号进行过滤，使得麦克风具有好的拾音效果。 |
