内置释放孔结构的谐振器
基本信息
| 申请号 | CN202111031470.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113872561A | 公开（公告）日 | 2021-12-31 |
| 申请公布号 | CN113872561A | 申请公布日 | 2021-12-31 |
| 分类号 | H03H9/17（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 孙成亮;罗天成;蔡耀;刘炎;邹杨;高超;龙开祥 | 申请（专利权）人 | 宁波华彰企业管理合伙企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 武汉科皓知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 肖明洲 |
| 地址 | 315832 浙江省宁波市北仑区梅山七星路88号1幢401室A区E2025 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种内置释放孔结构的谐振器，具体指一种具有高品质因数，带有内置释放孔结构的薄膜体声波谐振器。该谐振器在压电层表面分布有底电极和顶电极，在谐振器工作区域内部有一个或多个释放孔的存在。该谐振器可用滤波器、双工器等的搭建。利用该谐振器搭建的滤波器、双工器等不仅具有高品质因数，而且能够使得结构布局更为紧凑，减小器件面积。 |
