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有效机电耦合系数可调的超高频谐振器

基本信息

申请号 CN202110947614.0 申请日 -
公开（公告）号 CN113726307A 公开（公告）日 2021-11-30
申请公布号 CN113726307A 申请公布日 2021-11-30
分类号 H03H9/13;H03H9/145;H03H9/17 分类 基本电子电路;
发明人 孙成亮;温志伟;刘文娟;蔡耀;刘婕妤;徐沁文;谷曦宇;曲远航 申请（专利权）人 宁波华彰企业管理合伙企业（有限合伙）
代理机构 武汉科皓知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 肖明洲
地址 315832 浙江省宁波市北仑区梅山七星路88号1幢401室A区E2025
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种有效机电耦合系数可调的超高频谐振器，其结构包括：沟槽，电极，压电薄膜；电极位于压电薄膜上表面。沟槽横截面为矩形、梯形、弧形中任一种，长度方向与电极长度方向一致，沟槽数目、宽度和深度据实际情况确定。沟槽可位于压电薄膜上表面或下表面或位于上下表面，若其位于压电薄膜上表面，则位于电极左右两侧；若其位于压电薄膜下表面，则位于电极正下方；若其位于压电薄膜上下表面，则上表面的沟槽位于电极左右两侧，下表面的沟槽位于电极正下方。刻蚀沟槽能够有效减小超高频谐振器的带宽，且可以通过改变沟槽的宽度和深度调节有效机电耦合系数，实现带宽可调。