一种易于集成的FBAR滤波器
基本信息
| 申请号 | CN202110040803.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112886940B | 公开（公告）日 | 2022-06-17 |
| 申请公布号 | CN112886940B | 申请公布日 | 2022-06-17 |
| 分类号 | H03H9/17（2006.01）I;H03H9/25（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 孙成亮;温志伟;刘炎;王磊;曲远航;龙开祥;罗天成;王瑶;杨超翔 | 申请（专利权）人 | 宁波华彰企业管理合伙企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 武汉科皓知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 315832 浙江省宁波市北仑区梅山七星路88号1幢401室A区E2025 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出了一种易于集成的FBAR滤波器，包括：多个布拉格反射层结构的支撑脚、第一谐振器、第二谐振器；所述的第一谐振器、第二谐振器之间共用多个布拉格反射层结构的支撑脚；第一谐振器由质量负载、第一上电极、第一压电层、第一下电极依次沉积构成；第二谐振器由第二上电极、第二压电层、第二下电极依次沉积构成。FBAR谐振器通过支撑脚联接形成滤波器，谐振器可通过在上电极上部施加质量负载调频，以形成滤波器通带。FBAR谐振器通过横向分布的布拉格反射层相间结构的支撑脚联接，能够提高FBAR谐振器的机械品质因数，也可使谐振器排布方式多样化，可以为横向排布方式或纵向叠加方式，提高滤波器的集成度，减小加工成本。 |
