高发射性能的MEMS超声换能器
基本信息
| 申请号 | CN202110034536.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112871614B | 公开（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申请公布号 | CN112871614B | 申请公布日 | 2022-03-15 |
| 分类号 | B06B1/06（2006.01）I | 分类 | 一般机械振动的发生或传递; |
| 发明人 | 孙成亮;朱伟;吴志鹏;王磊;林炳辉;胡博豪 | 申请（专利权）人 | 宁波华彰企业管理合伙企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 武汉科皓知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 郑勤振 |
| 地址 | 315832 浙江省宁波市北仑区梅山七星路88号1幢401室A区E2025 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及高发射性能的MEMS超声换能器，通过在超声换能器上设置深槽提高发射声压或者带宽，其中深槽的分布方式包括以下三种：一个或多个深槽贯穿超声换能器压电层、下电极、无源层、SiO2层，并一直延伸到衬底内；超声换能器远离衬底的上表面键合一层硅层，正对超声换能器的振膜的部分设置有贯通硅层作为波导的开口，一个或多个深槽分布在波导的周围；一个或多个深槽分布在倒装结构超声换能器衬底刻蚀的背腔周围。超声换能器发射的声波经过深槽时会引起深槽内的介质振动，这种振动会在超声换能器振膜上产生一个附加声场，通过调节深槽的尺寸，可以调节附加声场，从而调节超声换能器的发射声压、带宽、指向性等发射性能。 |
