一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置
基本信息
| 申请号 | CN201711192259.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107907959B | 公开（公告）日 | 2020-11-24 |
| 申请公布号 | CN107907959B | 申请公布日 | 2020-11-24 |
| 分类号 | G02B7/00 | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 李增强;潘鑫;石玮;赵双 | 申请（专利权）人 | 黑龙江哈工华粹智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 | 代理人 | 高媛 |
| 地址 | 150001 黑龙江省哈尔滨市经开区哈平路集中区大连北路与兴凯路交口处 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用于光学调整及检测的超精密六自由度五轴调整装置，属于光学调整及检测技术领域。两个X轴直线电机定子、X轴光栅尺及多个X轴限位组件均安装在花岗岩底座上，两个X轴直线电机线圈各通过一个X轴直线电机线圈座安装在X轴溜板上，X轴溜板滑动设置在花岗岩底座上面，四个Y轴限位组件安装在两个X轴直线电机线圈座上，Y轴光栅尺安装在X轴溜板上面；两个Y轴直线电机线圈各通过一个Y轴直线电机线圈座安装在Y轴溜板，Y轴溜板滑动设置在X轴溜板上面，Z轴精密升降台固定在两个Y轴直线电机线圈座上面，Z轴精密旋转台安装在Z轴精密升降台上面，θ轴三点调平台安装在Z轴精密旋转台上面。本发明用于需要使用超精密多轴调整台的场合。 |
