一种用于全自动硅片清洗机的上料装置
基本信息
| 申请号 | CN201821943598.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209049872U | 公开（公告）日 | 2019-07-02 |
| 申请公布号 | CN209049872U | 申请公布日 | 2019-07-02 |
| 分类号 | B08B13/00（2006.01）I; B65G47/90（2006.01）I; H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 张旺 | 申请（专利权）人 | 江苏科林泰电子有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 223005 江苏省淮安市淮安经济技术开发区鸿海北路西侧，大同路南侧11号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于全自动硅片清洗机的上料装置，涉及硅片清洗技术领域，该用于全自动硅片清洗机的上料装置，包括支撑板，支撑板的上表面中部固定安装有驱动电机，驱动电机的两侧均固定连接有第一固定桩，驱动电机远离第一固定桩的一侧中部通过转轴活动连接有丝杠，丝杠的一端外侧螺纹连接有滑动台，丝杠的另一端活动连接有支撑台，第一固定桩的一侧中部固定连接无缝钢管的一端，无缝钢管的另一端固定连接第二固定桩的一侧中部。该用于全自动硅片清洗机的上料装置，通过驱动电机能够带动丝杠旋转，从而使滑动台能够左右移动，通过第一固定桩和第二固定桩以及无缝钢管之间的配合，能够有效增强滑动台作业时的稳定性。 |
