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兆声清洗中晶圆转速检测装置

基本信息

申请号 CN201811227971.4 申请日 -
公开（公告）号 CN109461678B 公开（公告）日 2019-03-12
申请公布号 CN109461678B 申请公布日 2019-03-12
分类号 H01L21/67(2006.01)I;G01P3/64(2006.01)I 分类 -
发明人 黎三妹 申请（专利权）人 深圳鑫安满金融服务有限公司
代理机构 北京华识知识产权代理有限公司 代理人 南京溧水高新创业投资管理有限公司
地址 210000江苏省南京市溧水经济开发区柘塘街道福田路科创大厦
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了兆声清洗中晶圆转速检测装置，其结构包括进水端、密封门、晶圆转速检测装置、检测机外壳、锁件、支撑防潮板，晶圆转速检测装置通过嵌入的方式安装在检测机外壳内部，锁件背部通过合页与检测机外壳正端面中间位置连接，锁件内部通过嵌入的方式安装在密封门正端面顶端，密封门正端面底端通过合页与检测机外壳正端面中间靠下位置活动连接在一起，进水端通过嵌入的方式安装在检测机外壳正端面右侧中间位置，本发明主要利用射线识别机构与转速信号发射机构相互配合，通过识别信号发射端两次的时间差判断晶圆是否处于旋转状态，且能够检测器转速，从而实现检测兆声清洗过程晶圆的旋转状态。