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一种清洗装置

基本信息

申请号 CN201911301459.4 申请日 -
公开（公告）号 CN111014169B 公开（公告）日 2022-05-20
申请公布号 CN111014169B 申请公布日 2022-05-20
分类号 B08B3/12（2006.01）I;B08B9/093（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 李在桓;史进 申请（专利权）人 西安奕斯伟材料科技股份有限公司
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种清洗装置，包括：清洗槽；清洗管，清洗管上设有多个喷水孔；支撑座，支撑座设在清洗槽的外部，支撑座内限定有容纳腔，清洗管在容纳腔的内部和外部之间可移动，清洗管位于容纳腔的外部时，清洗管可在第一位置与第二位置之间枢转活动，第一位置位于清洗槽的外部，第二位置位于清洗槽的内部。该清洗装置中的清洗管从容纳腔移出后能够清洗硅片，通过清洗管的枢转能对清洗槽的内壁进行清洗，能够高效清除残留在清洗槽内壁的异物，防止内壁上的异物对硅片造成污染，清洗后清洗管能够收纳于容纳腔中且位于清洗槽的外部，避免占用清洗槽的内部空间，避免外部对清洗管造成污染或损坏。