一种用于化学钝化的系统
基本信息
| 申请号 | CN201911357714.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111092035B | 公开（公告）日 | 2022-05-24 |
| 申请公布号 | CN111092035B | 申请公布日 | 2022-05-24 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张翔;蒲以松 | 申请（专利权）人 | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 西安嘉思特知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于化学钝化的系统，包括气泡去除装置、样品载台、封口机构，气泡去除装置位于样品载台的上方，封口机构位于气泡去除装置的上方，气泡去除装置和样品载台的样品放置区对向设置，封口机构的封口部位与样品载台的封口区对向设置，样品载台用于在样品放置区放置待封口样品；气泡去除装置用于使钝化液体均匀地散布在待封口样品上，去除装载有待封口样品的封口膜中的气泡以及多余的钝化液体；封口机构用于将封口区中的封口膜进行封口。本发明的用于化学钝化的系统不需要人为去除封口膜中的气泡，可以精准地对封口膜进行塑封，提高了化学钝化的效果和效率，减少了因为操作人员水平问题造成的钝化效果之间的差异。 |
