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一种气相沉积反应腔体的承载装置及清洗系统

基本信息

申请号 CN201911347019.2 申请日 -
公开（公告）号 CN111112266B 公开（公告）日 2022-05-27
申请公布号 CN111112266B 申请公布日 2022-05-27
分类号 B08B9/30（2006.01）I;B08B9/34（2006.01）I;H01L21/20（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 刘凯;王力 申请（专利权）人 西安奕斯伟材料科技股份有限公司
代理机构 西安嘉思特知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 -
地址 710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种气相沉积反应腔体的承载装置及清洗系统，该气相沉积反应腔体的承载装置包括：承载板、挡板组件和承托件，其中，承载板上开设有第一开口；挡板组件环绕于承载板的周向，以使挡板组件与承载板形成容纳气相沉积反应腔体的容纳室；承托件跨接于挡板组件的两侧且位于承载板的上方。本发明的气相沉积反应腔体的承载装置有效地保护了气相沉积反应腔体，避免气相沉积反应腔体因为夹持压力过大而破裂或者压力过小而滑落损坏，同时在承载装置进行下降放入清洗室的过程中，承载板的底部与清洗室底部发生接触，避免了气相沉积反应腔体的开口端与清洗室底部直接碰撞而发生损坏，从而降低了气相沉积反应腔体的损坏率。