一种用于清洗载盘的清洗槽

基本信息

申请号 CN202123385940.1 申请日 -
公开(公告)号 CN216501185U 公开(公告)日 2022-05-13
申请公布号 CN216501185U 申请公布日 2022-05-13
分类号 B08B3/12(2006.01)I;B08B9/28(2006.01)I;B08B9/22(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 徐全 申请(专利权)人 西安奕斯伟材料科技股份有限公司
代理机构 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 710100陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于清洗载盘的清洗槽;所述清洗槽包括:承载多个载盘的内槽以及围设于所述内槽的外槽;其中,所述内槽中固定地设置有至少一根悬挂杆,用于悬挂多个载盘;所述内槽中盛放有能够完全浸没多个所述载盘的清洗液以化学分解所述载盘上的附着异物;所述外槽中设置有超声波清洗单元,用于对所述内槽中的多个所述载盘进行超声波清洗。