一种双悬臂梁波导耦合光电式MEMS触觉传感器及其制作方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种双悬臂梁波导耦合光电式MEMS触觉传感器及其制作方法

基本信息

申请号	CN202010867163.5	申请日	-
公开（公告）号	CN111732068B	公开（公告）日	2020-10-02
申请公布号	CN111732068B	申请公布日	2020-10-02
分类号	B81B3/00(2006.01)I	分类	微观结构技术〔7〕;
发明人	何云;刘桂芝	申请（专利权）人	上海南麟集成电路有限公司
代理机构	上海光华专利事务所（普通合伙）	代理人	上海南麟集成电路有限公司
地址	201306上海市浦东新区环湖西二路888号C楼
法律状态	-

摘要

本发明提供一种双悬臂梁波导耦合光电式MEMS触觉传感器及其制作方法，该传感器包括衬底、发光二极管、光电检测二极管、第一悬臂梁波导及第二悬臂梁波导，其中，发光二极管发出的部分光线通过第一悬臂梁波导进行传输，并通过两个悬臂梁波导之间的空气或者介质耦合到第二悬臂梁波导，最后传输到光电检测二极管转换为输出电信号，外加触觉力会改变两个波导之间的光传输耦合比，根据光电检测二极管的输出电流变化可获得触觉力信息。本发明基于力‑位移‑光‑电式检测原理，具有灵敏度高、响应速度快和抗电磁干扰能力强的优势，器件结构紧凑、体积小，构成传感阵列后具有较高分辨率。该器件可利用成熟的MEMS工艺线进行批量化加工，有利于降低生产成本。