一种扫光加工工艺
基本信息
申请号 | CN201811557636.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN109664164B | 公开(公告)日 | 2022-02-25 |
申请公布号 | CN109664164B | 申请公布日 | 2022-02-25 |
分类号 | B24B1/00(2006.01)I | 分类 | 磨削;抛光; |
发明人 | 胡志海;邓敏;叶惠敏;邱欣南 | 申请(专利权)人 | 赣州市德普特科技有限公司 |
代理机构 | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 齐则琳;欧阳雪兵 |
地址 | 341400江西省赣州市南康区龙岭工业园西区A8-A10段 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种扫光加工工艺,包括以下步骤:正转第一阶段:设置加工时间为10s,上盘转速80‑100rpm,上小盘转速80‑100rpm,下盘转速3‑7rpm,下小盘转速1‑5rpm,加工压力90kg;正转第二阶段:设置加工时间为10s,上盘转速170‑190rpm,上小盘转速170‑190rpm,下盘转速3‑7rpm,下小盘转速1‑5rpm,加工压力100kg;反转第一阶段;反转第二阶段;该工艺省略了平磨和上扫下磨的工序,一步扫光打磨,使得器件更加平整、光亮,平晶平面度N≤3。 |
