一种扫光加工工艺

基本信息

申请号 CN201811557636.0 申请日 -
公开(公告)号 CN109664164B 公开(公告)日 2022-02-25
申请公布号 CN109664164B 申请公布日 2022-02-25
分类号 B24B1/00(2006.01)I 分类 磨削;抛光;
发明人 胡志海;邓敏;叶惠敏;邱欣南 申请(专利权)人 赣州市德普特科技有限公司
代理机构 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 代理人 齐则琳;欧阳雪兵
地址 341400江西省赣州市南康区龙岭工业园西区A8-A10段
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种扫光加工工艺,包括以下步骤:正转第一阶段:设置加工时间为10s,上盘转速80‑100rpm,上小盘转速80‑100rpm,下盘转速3‑7rpm,下小盘转速1‑5rpm,加工压力90kg;正转第二阶段:设置加工时间为10s,上盘转速170‑190rpm,上小盘转速170‑190rpm,下盘转速3‑7rpm,下小盘转速1‑5rpm,加工压力100kg;反转第一阶段;反转第二阶段;该工艺省略了平磨和上扫下磨的工序,一步扫光打磨,使得器件更加平整、光亮,平晶平面度N≤3。